静电是对洁净室很大的危害之一，严重影响着洁净室的使用效果，尤其是电子光学净化车间等领域，做好防静电措施显得尤为重要，做好防静电处理，我们应该从多方面入手。
首先，从静电产生的机理来看，应该从降低有关物体的绝缘度着手，使两物体即使摩擦也不产生和少产生静电，保持环境有一定的湿度。实践证明，北方地区或在干燥的冬季，因静电产生故障的事例要远远大于在东南沿海地区或其他季节，所以在一些重要场所，如计算机机房、实验室、电子仪器的装调车间应考虑保持一定湿度的问题，特别是对那些封闭形的空调房间，更应有一定控制湿度的设备。
铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效控制由于人的行走产生静电。使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。
半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。对于操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，这种措施非常有效。
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